NF-300H TEOS PECVD×°±¸
²úÆ·ÏÈÈÝ
NF-300H TEOS ×°±¸Îª×ÔÖ÷Ñз¢µÄ²úÆ·£¬Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÓÚ³Á»ýʱ¼äÐèÇ󳤵ı¡Ä¤¹¤ÒÕ£¬ÔÚÔȳÆÐÔ¡¢¿ÅÁ£¶È¡¢´Ö²Ú¶È¡¢Ó¦Á¦¼°²úÄܵȷ½ÃæʵÏÖÊÖÒÕÍ»ÆÆ£¬×°±¸ÐÔÄÜÖ¸±ê´ïͬÀà²úƷˮƽ¡£
²úÆ·Ìصã - ¸ß²úÄÜÉè¼ÆºÍ¿ÉʵÏÖ¶àÖÖ±¡Ä¤³Á»ýµÄ¿ìËÙÇл» - ¿ÉÖª×ã³Á»ýʱ¼äÐèÇ󳤵ı¡Ä¤¹¤ÒÕ - Öª×ã300-600¡æ¸ßγÁ»ýÐèÇó - PMÇ»ÄڿɾÙÐжàƬwafer³Á»ýºÍwafer×Ô¶¯Éý½µÐýת¹¦Ð§ - ͨ¹ýS2Çå¾²ÈÏÖ¤